真空系统的性能衰退往往与时间的流逝紧密相关，尤其是那些用于生产的设备，它们几乎无可避免地会遭遇真空度降低的问题，而泄漏是导致这一现象的常见原因，因此，定期进行泄漏检测显得尤为重要。
泄漏的存在可能并不总是显而易见。在某些情况下，尽管真空计的读数保持在正常范围内，但微小的泄漏仍可能引入意外的气体（如氧气），这可能对特定工艺过程（例如某些镀膜工艺）产生严重影响。因此，无论真空系统的压力是否明显下降，定期的泄漏检测都是必要的。
实漏与虚漏
在检漏过程中，区分实漏与虚漏至关重要。实漏指的是真正的气体泄漏，而虚漏则是由于真空腔室内壁的污染物释放气体或死空间内气体缓慢释放所造成的假象。真实泄漏可以通过检漏仪检测到，而放气现象则可通过清洁真空腔体的内表面来解决。虚漏的预防则需要在设计和制造阶段避免容易产生虚漏的结构或工艺。
判断真空系统是否存在真实泄漏的方法包括压降曲线分析和压升测试。压降曲线分析通过比较当前压降曲线与历史数据，可以快速识别问题原因。压升测试，也称为保压测试，通过测量在真空下关闭泵和腔室间阀门后腔室压力的上升速率，可以判断是否存在泄漏或放气现象。
外漏和内漏
外漏通常指的是从外部向真空腔体内部的泄漏，而内漏则是指在本应隔离的真空腔室之间发生的泄漏。内漏的检测通常需要通过分段保压等方法进行预判，然后拆解可疑部分进行检漏。动态泄漏是指在真空系统中运动部件的密封处可能在运动时发生泄漏的现象，这通常需要在检漏时模拟运动状态来发现。
真空系统的泄漏检测是确保其正常运行的关键环节，需要通过多种方法综合判断，并采取相应的预防和修复措施，在进行压降曲线分析时，重要的是要确保测试条件一致，以便于比较不同时间点的数据。
